プローブ･ステーション

ラインアップ

Elite300　次世代を見据えた、最新鋭300mmセミオート・プローブ・ステーション

Elite300は、DC/RF測定において比類のないソリューションを提供します。I-V、C-V、1/f、RF/mm測定においては、今までにない低雑音環境下での高精度且つ安全な測定を保証します。
新しく開発したリニアモータ、エアーベアリング機構により、高速で高精度のプロービングを実現しました。解析時間の短縮、小さなパッドへのプロービングにも安心してお使いいただけます。
信頼性測定では、測定温度が重要な意味を持ちます。Elite300では、-60℃～300℃という非常に広い範囲で、精度の高い温度コントロールが可能であり、WLR評価に最適なソリューションを提供します。

200ｍｍプローブ・ステーション（SUMMIT 11000/12000シリーズ）

DC/CV測定解析用
SUMMITパラメトリック測定用プローブ・ステーションにより、低電流、低雑音、低キャパシタンス環境での測定が実現可能
全温度範囲で雑音と漏れ電流を低減し、より高速・高精度のCV/IV測定が可能
RF/マイクロ波解析用
SUMMIT RF/マイクロ波測定用プローブ・ステーションは、高精度のデバイス・モデリングと機能試験用の高精度の測定が実現可能
エア・コプレナ・プローブ、インフィニティー・プローブやインピーダンス基準基板と組み合わせ、110GHzまでの高周波オン・ウェーハ測定が可能

Tesla　オン・ウェーハにて高電流・高電圧の測定を可能にした、200mmセミオート・プローブ・ステーション

パワーデバイス測定に最適
高（低）温、低接触抵抗環境で、最大600A/3000V（最大40W）まで対応
組み込み完全ソリューションを提供（プローブ、ケーブル、温度コントロール、インターロックシステムシステムまで）
パワーMOSFETをパッケージする前に、高精度なRDSON測定可能

M150マニュアルプローブ・ステーション

M150シリーズ・プローブステーションは、カスケード・マイクロテック社のプローブ・ステーションの高精度の電気測定性能を全て継承した、低価格・高剛性モジューラ型プローブ・ステーション（プローバ）です。
ウェーハ、IC、パッケージ、回路基板、MEMSなど多種多様のデバイス測定が、この１台で可能となります。