プローブ・ステーション
Elite300
次世代を見据えた、最新鋭300mmセミオート・プローブ・ステーション
Elite300は、DC/RF測定において比類のないソリューションを提供します。I-V、C-V、1/f、RF/mm測定においては、今までにない低雑音環境下での高精度且つ安全な測定を保証します。
新しく開発したリニアモータ、エアーベアリング機構により、高速で高精度のプロービングを実現しました。解析時間の短縮、小さなパッドへのプロービングにも安心してお使いいただけます。
信頼性測定では、測定温度が重要な意味を持ちます。Elite300では、-60℃~300℃という非常に広い範囲で、精度の高い温度コントロールが可能であり、WLR評価に最適なソリューションを提供します。
200mmプローブ・ステーション(SUMMIT 11000/12000シリーズ)
- DC/CV測定解析用

SUMMITパラメトリック測定用プローブ・ステーションにより、低電流、低雑音、低キャパシタンス環境での測定が実現可能
全温度範囲で雑音と漏れ電流を低減し、より高速・高精度のCV/IV測定が可能 - RF/マイクロ波解析用
SUMMIT RF/マイクロ波測定用プローブ・ステーションは、高精度のデバイス・モデリングと機能試験用の高精度の測定が実現可能
エア・コプレナ・プローブ、インフィニティー・プローブやインピーダンス基準基板と組み合わせ、110GHzまでの高周波オン・ウェーハ測定が可能
Tesla オン・ウェーハにて高電流・高電圧の測定を可能にした、200mmセミオート・プローブ・ステーション
- パワーデバイス測定に最適
- 高(低)温、低接触抵抗環境で、最大600A/3000V(最大40W)まで対応
- 組み込み完全ソリューションを提供(プローブ、ケーブル、温度コントロール、インターロックシステムシステムまで)
- パワーMOSFETをパッケージする前に、高精度なRDSON測定可能
M150マニュアルプローブ・ステーション
M150シリーズ・プローブステーションは、カスケード・マイクロテック社のプローブ・ステーションの高精度の電気測定性能を全て継承した、低価格・高剛性モジューラ型プローブ・ステーション(プローバ)です。
ウェーハ、IC、パッケージ、回路基板、MEMSなど多種多様のデバイス測定が、この1台で可能となります。
★★ M150 パッケージのご案内 ★★
- RF測定を再現性よく安全に!
50GHzまでのRFプロービング測定 ・・・ 310万円
40GHzまでのRFプロービング測定 ・・・ 298万円
- I-V、故障解析、4端子対抵抗測定を再現性よく安全に!
DCプロービング測定 ・・・ 230万円
プローブ・ステーション関連資料/関連サイト (よくある質問ページもご参照ください)
WaferMap(Subsite)外部データ読み込み方法
Nucleusソフトを使用して測定する際、大量のSubsiteを一気に登録する方法
セミオート・プローバを用いたチップ部品自動測定
自動化することにより、時間と手間を大幅短縮
サービス・サポート・プログラムのご案内 -保守契約・延長保証-
システム運営の安全、安心をお約束します
測定コンサルティング
正しい測定を実現するために!
RFプローブトレーニング
RFプローブを用いて、デバイス測定を行う方の為の基礎コースです。測定経験のある方にとっても、基本を復習する上で有益なコースです
プローブ・ステーション コントロールシステム アップグレードパッケージ
インピーダンス基準基板カタログ
(米カスケード・マイクロテック本社インピーダンス基準基板のページはこちらから)
WinCal XE Quick Start Guide Ver1.02
WinCal XEの操作方法についての要点をまとめた資料です
RF測定ガイド(2.02)
RF測定に関する基本的な操作方法、プローブ・ヘッドの使い方等についての資料です
高周波ケーブルカタログ
(米カスケード・マイクロテック本社ケーブルのページはこちらから。本カタログに掲載されていないケーブルもございます。別途お問合せください)
〒116-0014 東京都荒川区東日暮里5-7-18 コスモパークビル1F
カスケード・マイクロテック株式会社
TEL: 03-5615-5150 FAX: 03-5615-5151
Email:cmj_sales@cmicro.com






