プローブ･ステーション

測定コンサルティング

正しい測定を実現するために！

 豊富な技術経験とその先進テクノロジーを駆使し
オン・ウェーハ、プロービング測定の問題解決のためにお役立ち致します
1/f ノイズ測定、C-V測定、高周波・ミリ波測定等でお困りの方、一度ご相談ください

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システム運営の安全・安心をお約束します！（保守契約・延長保証）

 

M150シリーズ・プローブ・ステーション (150mm)

M150シリーズ・プローブ・ステーションは、カスケード･マイクロテック社のプローブ･ステーションの高精度の電気測定性能を全て継承した、低価格・高剛性モジューラ型プローブ･ステーション（プローバ）です。

ウェーハ、IC、パッケージ、回路基板、MEMSなど、多種多様のデバイス測定がこの1台で可能となります。

M150シリーズ・プローブ･ステーション

M150シリーズ・プローブ・ステーション(日本語版カタログ）

M150 Special 

  

SUMMITシリーズ・ウェーハ･プローブ･ステーション(200mm)

DC/CV解析用
Summitパラメトリック測定用プローブ・ステーション (プローバ) により、低電流、低雑音、低 キャパシタンス環境での測定が実現されます。全温度範囲で雑音と漏れ電流を低減し、より高速・高精度のCV/IV測定を可能とします。

RF/マイクロ波解析用
Summit RF/マイクロ波測定用プローブ・ステーションは、高精度のデバイス・モデリングと機能試験用の高精度の測定を実現します。エア・コプレナ・プローブ、インフィニティ・プローブやインピーダンス基準基板と組み合わせ、110GHｚまでの高周波オン・ウェーハ測定が可能です。

WinCal　VNA校正ソフトウェアは、高精度で再現性の高いネットワーク・アナライザ校正を全自動で実現します。4ポート測定にも対応し、高精度のLRM/LRRM/TRL校正に加え、パッド寄生素子除去、SパラメータのデータのTouchstoneフォーマットでの読取り・保存などの機能も提供します。

SUMMITシリーズ・ウェーハ･プローブ･ステーション(200mm)

Summit B Euro 

   

 

Elite300　セミオート･プローブ･ステーション

Elite 300はDC/RF測定において比類のないソリューションを提供します。I-V, C-V, 1/f, RF/mm波測定においては、今までにない、低雑音環境下での高精度且つ安定な測定を保証します。
新しく開発したリニアモータ、エアーベアリング機構により、高速で高精度のプロービングを実現しました。解析時間の短縮、小さなパッドへのプロービングにも安心してお使いいただけます。
信頼性測定では測定温度が重要な意味を持ちます。Elite300では-60℃～300℃という非常に広い範囲で、精度の高い温度コントロールが可能であり、WLR評価に最適なソリューションを提供します。

Elite 300はまさに次世代を見据えた、最新鋭300mmセミオート・プローブ・ステーションです。

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オン･ウェーハにて高電流・高電圧の測定を可能にしたプローブ･ステーション『Ｔｅｓｌａ』がついに登場！

パワーデバイスの測定に最適 
高（低）温、低接触抵抗の環境で、最大60A/3000V(最大40W)まで対応
プローブ、ケーブル、温度コントローラ、インターロックシステムまですべて組み込み完全ソリューションを提供いたします。  TeslaSpec

パワーMOSFETをパッケージする前に精度の高いRDSON測定を行なうことが可能になりました。
製造にかかかるコストを削減し同時にデバイススクリーニングを可能としました。詳細はリンクより記事をご参照ください。　Tesla_on_PowerElectronics

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