プローブ

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ラインアップ (プローブ・ヘッド総合カタログProbe Head Selection Guide

Infinity ProbeInfinity

マイクロ波/ミリ波用半導体、ウェーハ上に製造された微細なインダクタやキャパシタなどの受動デバイス、アルミニウム・パッドを使用するSiまたはSiGeデバイスのオン・ウェーハ・モデリングに最適。カスケード・マイクロテック独自の同軸変換技術と最先端の薄膜技術が統合されたプローブ先端は、コンタクト抵抗を最適に維持し、測定の精度・再現性をより高め、デバイスの測定効率を向上します。

  • 周波数域:DC~220 GHz
  • コンタクト抵抗(代表値):<0.1Ω(アルミニウム・パッド上)
  • プローブ先端構成:GS/SG、GSG, GSSG, GSGSG
  • 標準ピッチ:50~250μm

     ★★ 高電流対応新シリーズ登場! ★★

  • 周波数域:DC~67 GHz
  • 最大電流:2A
  • プローブ先端構成:GSG
  • 標準ピッチ:100~250μm

 

ACP (Air Coplanar Probe) ACP

高精度RF/マイクロ波/ミリ波測定をオン・ウェーハで実現。高速・高精度デバイスのオン・ウェーハ特性評価や実速度機能テストなど、様々なアプリケーション(システムクロック10GHz以上の高速デバイス、ワイヤレスLAN(10Gbit Ethernet)、移動体通信用デバイスなど)に使用できます。アジレント・テクノロジー社などの測定器と組み合わせ、高精度測定を実現します。

  • 周波数:DC~110GHz
  • 挿入損失:1.0dB@40GHz(GSG、250μmピッチ以下、ベリリウム銅針の場合)
  • プローブ先端構成:GS、SG、GSG
  • 標準ピッチ:100~250μm(オプション:50~1250μm)
  • プローブ先端材質:ベリリウム銅またはタングステン

ACP Angle Series ProbeACP A

ACP-Aはコネクタ部分が45度に傾斜しているためエルボの無い一般的なケーブルが使用でき、顕微鏡に対する干渉がありません。

  • 周波数:DC~110GHz
  • プローブ先端構成:GS、SG、GSG
  • 標準ピッチ:100~250μm(オプション:50~1250μm)
  • プローブ先端材質:ベリリウム銅またはタングステン

ACPシリーズ・デュアルライン・プローブ(ACP-D) ACP D

1つのプローブ・ヘッドに2本のRFラインを装備。マルチポート・デバイスや平衡回路の測定の際、プローブの複雑な配置を気にせず、測定端子に正確にコンタクト可能です。

  • 周波数:DC~65GHz
  • プローブ先端構成:GSGSG、GSGS、GSS、GSSG、SGS、SGSG、SSG
  • プローブ先端材質:ベリリウム銅またはタングステン 


ACP高性能クォドラント・プローブ(40、80Gb/s)ACP SONET

広帯域幅対応のRF接続と、無共振の電源バイパス接続を一つのプローブに装備。光ネットワーク用の高速ミクスドICや高性能デジタル回路の測定に最適です。

  • 周波数:DC~65GHz
  • プローブ先端構成:PGSGSGP
    (特殊仕様でGSSGSSG等も可能)
  • 標準ピッチ:100μm 150μm

  

ACPシリーズ極低温型プローブACP Cryo

広い温度範囲(-263~150℃)で高精度のRF測定を実現。プローブ先端は熱による歪みが少なく、極低温でもプローブ先端のジオメトリの変化は最小限に保たれます。

  • 周波数:DC~50GHz
  • プローブ先端材質:ステンレス鋼
  • 標準ピッチ:100または150μm

Eye-Passシリーズ・電源バイパス・プローブEyepass

Eye-Passプローブのインピーダンス整合された電源供給源は、広帯域で低インピーダンスを維持。電源供給線に加え、ロジック線や電源センス線なども提供可能です。グランド、ロジック、電源供給、電源供給センス、AC信号などのコンタクトも提供し、広帯域のアナログ回路の無共振テストを実現します。

  • コンタクト:2~12ピンまで
  • 最大電流1A、最大電圧25V
  • 帯域:20GHz
  • プローブ先端材質:ベリリウム銅またはタングステン
  • ピッチ:100~250μm

 

FPCシリーズ・コンプライアンス・プローブFPC

FPCプローブは、プローブの針先とプローブ本体の底面との高低差が大きく、段差のある構造の実装基板やパッケージ/モジュールの測定に適しています。FPCプローブの先端構造はACPプローブとほぼ同様ですが、より柔軟性が高く、最大50μmまでの段差に対応します。

  • 周波数:DC~20GHz
  • プローブ先端構成:GS、SG、GSG
  • 先端ピッチ:100~3000μm

 

 

 

プローブ・ヘッド関連資料/関連サイト (よくある質問ページもご参照ください)

インピーダンス基準基板カタログ 
(米カスケード・マイクロテック本社インピーダンス基準基板のページはこちらから)

高周波ケーブルカタログ
(米カスケード・マイクロテック本社ケーブルのページはこちらから。本カタログに掲載されていないケーブルもございます。別途お問合せください。)

WinCal XE VNA校正用ソフトウェアカタログ

WinCal XE Quick Start Guide Ver1.02
WinCal XEの操作方法についての要点をまとめた資料です。

プローブ・ヘッド価格表

New icon - flashingRF測定ガイド(2.02)
RF測定に関する基本的な操作方法、プローブ・ヘッドの使い方等についての資料です。

Probe Head Available Pitch
プローブ・ヘッドの利用可能ピッチ表です。こちらに載っていないピッチでも作成可能な場合もあるので、詳細は別途お問合せください。

プローブ・クリーニング基板
プローブクリーニング基板の使用方法についての説明資料です。

タングステン先端のプローブの取扱方法

RF プローブ Cal キットの入力方法(Agilent PNA Firmware Rev. A.03.xx)

RF プローブ Cal キットの入力方法(Agilent8510)

RF プローブ Cal キットの入力方法(Agilent8720)

プローブ・ヘッド補足資料

納入済プローブ・ヘッドデータのダウンロード
ダウンロードにはプローブ・ヘッドの型式、シリアル番号が必要となります。
(デュアル・プローブには対応しておりません。別途お問合せください。)

ProbeFrequency
プローブ・ヘッドのピッチと周波数帯域の相関関係をしめしたグラフです。

On Line Product Guide

 

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