プローブ・ヘッド、キャリブレーション
ACP Series Probe
Infinity Series Probe
FPC Series Probe
Eye-Pass Series Probe
WPH-900 Series Probe
DCP Series Probe
DCQ/ACQ Series Probe
インピーダンス基準基板(ISS)、キャリブレーション
高周波プローブ一般
その他
Q カスケード・マイクロテック社RFプローブで取り扱える最大の電流、電圧、電力はどの位ですか？
A
ACPの場合、最大DC電流は5A、最大DC電圧は250Vです。
RF電力は10GHzで15W、40GHzで6Wとなります。
しかしながら使用するケーブルやコネクタの仕様にも注意する必要があります。
Infinityプローブの場合は、最大DC電流は500mA、最大DC電圧は100Vです。
InfinityプローブRF電力についてはこちらを参照してください。 Infinity Probe RF電力 vs 周波数
Q デュアルACPを使用して差動信号をデバイスに入力したいが、何か注意する点はあるか？
A
残念ながらACP-Dプローブには２つのSignalのDelay Matchの仕様がありません。
最大10数ps差がありえます。
位相差を重視する場合は「In-Line Phase Adjuster」を使用することをお勧めします。
（スペクトラム社 http://www.spectrum-et.com/ から入手できます。）
Q ACPプローブの先端の形状および大きさを教えてください。
A
ACPプローブ先端は、標準で50um角となっております。末尾に-RCの付く型番の場合、25um角の仕様となります。
Q ACPプローブの重量を教えてください。
A
シングル（シグナルが1つの構成）の場合、約33ｇ、デュアル（シグナルが２つの構成）の場合、約36ｇです。
Q プローブを固定するためのネジをしめる六角レンチの規格を教えてください。
A
9/64インチです。
Q SP-ACP-HP-BYPASS とSP-ACP-BYPASSの違いは何ですか?
A
SP-ACP-HP-BYPASSはEyePassプローブの電源と同じ構造で、針先端の隣のGまたはPとの間に100-1000pFのキャパシタが挿入され、
さらにGとの間に10nFのキャパシタと2.7Ωの抵抗が直列に接続されています。これにより、より低域から広域までの回路動作に応じた電源供給が可能となります。
SP-ACP-BYPASSは先端のキャパシタのみで、低周波は通りません。
Q 半田端子にACPプローブをコンタクトさせて測定したいのですが、注意事項はありますか?
A
半田端子の材質によっては（酸化膜ができるような素材では）タングステン仕様のACPプローブが適している場合もございます。
また、コンタクト時に他の半田に接触する危険がある場合には、FPCプローブをお薦めしています。
・半田のゴミがプローブに付着しやすいようでしたら、頻繁にｸﾘｰﾆﾝｸﾞをおこなうことをお薦めします。ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ基板をご利用下さい。
プローブ・クリーニング基板
・半田端子間の高さばらつきが25um以上ある場合には、プローブの変形の原因となる可能性があります。
また、平行度の調整は測定ごとに十分におこなっていただく必要があると思われます。
Q ACP-Qシリーズの2RFシグナル間の最小ピッチは？
A
1200um (RFがDualの場合は除く)
Q カスケード・マイクロテック社プローブに付属しているデータをなくしてしまったのですが。
A
ホームページよりダウンロードできます。ダウンロードページはこちら。
Q ACP40シリーズは40GHz、ACP50シリーズは50GHz対応と考えてよいでしょうか？
A
高周波プローブの型名に入っている数字は、使用されている同軸コネクタの上限周波数を表しています。
APC40では2.92mm（K）コネクタ、ACP50では2.4mmコネクタが使用されています。
但し、ピッチが広かったり、GS/SG構成の場合は、コネクタの上限周波数まで使用できない場合があります。
ピッチと周波数の相関関係についてはこちらのファイルをご参照ください。→ProbeFrequency
Q RFプローブで取り扱える最大の電流、電圧、電力はどの位ですか？
A
ACPの場合、最大DC電流は5A、最大DC電圧は250Vです。
RF電力は10GHzで15W、40GHzで6Wとなります。
しかしながら使用するケーブルやコネクタの仕様にも注意する必要があります。
Infinityプローブの場合は、最大DC電流は500mA、最大DC電圧は100Vです。
RF電力についてはこちらを参照してください。Infinity Probe RF電力 vs 周波数
Q Infinityﾌﾟﾛｰﾌﾞの先端のﾊﾞﾝﾌﾟの大きさは?
A
約12um×12um です。
Q Infinityプローブで500umピッチを製作することはできますか？
A
Infinityプローブは構造の都合上、250umまでのピッチしかご用意することができません。
ワイド・ピッチをご希望の場合は、ACP/FPCプローブをご利用くださいますよう、お願いいたします。
Q Infinityプローブの重量を教えてください。
A
シングル（シグナルが1つの構成）の場合、約15ｇ、デュアル（シグナルが２つの構成）の場合、約18ｇです。
Q 通常のInfinityプローブと、高電流対応のInfinityプローブで、オープン容量などの値は変わるのですか？
A
Copen、Lshort、Ltermとも全く同じ値です。
Q Infinityプローブを、すずメッキパッドに使用したいのですが、可能でしょうか？注意点などはありますか？
A
すずメッキパッドに使用されても特に問題はないと思われます。
ただし、パッド表面の質や状態（柔らかい、ゴミが出やすいなど）によっては、頻繁にクリーニングが必要になることも考えられます。
クリーニング基板についてはこちらをご参照ください。プローブ・クリーニング基板
Q カスケード・マイクロテック社プローブに付属しているデータをなくしてしまったのですが。
A
ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞよりﾀﾞｳﾝﾛｰﾄﾞできます。ﾀﾞｳﾝﾛｰﾄﾞﾍﾟｰｼﾞはこちら。
Q FPCは、カスケード製プローバのRFポジショナやMPHポジショナに取り付けられますか？
A
取り付けられますが、ｱﾀﾞﾌﾟﾀが必要になります。
104-913 WPHﾏｳﾝﾄ-ﾌｧｲﾝ･ﾋﾟｯﾁ･ｱﾀﾞﾌﾟﾀが一つのポジショナ(マニピュレータ)に対して一つ必要になります。
Q EyePassプローブの針をロジック・シグナルに使用する場合、どの程度の周波数まで対応できますか？
A
約500MHｚとなります。
ただしこれは、GLG構成のプローブが50Ω終端にコンタクトした場合を想定した値になります。
コンタクト配置や、回路のクロストークによる共振によって、300MHz程度までに低減される場合もあります。
Q EyePassプローブの型名は、ピンの構成と関係があるのですか？
A
EyePassプローブの型名は、ピン数の合計で決まります。
電源、Gndなど、ピンの種類は示されておりません。
Q EyePassプローブの、ロジック・ピンとACピンの違いは何ですか？
A
ピンそのものに違いはなく、用途によって呼び分けております。
Q EyePassプローブでは、パッドの高さばらつきはどの程度許されるのでしょうか？
A
５ｕｍまでは安全にプロービングできます。
Q WPH-900シリーズの最高/最小ピッチ幅 /推奨最小DUTパッドサイズは？
A
最高→4,445um / 最小→150um / 100um×100um (但しﾊﾟｯｼﾍﾞｰｼｮﾝWindowは96um×96um)
詳細は Layout Rules for WPH-900 Series Probes を参照。
Q DCPシリーズの最大電流と最大電圧を教えてください。
A
最大電圧は500Vです。最大電流は、型式により異なりますのでご注意ください。
DCP-HTR ：最大1A、DCP-150R ：最大1A、DCP-115R ：最大0.4A、DCP-105R ：最大0.2A となっております。
Q DCPプローブの最大オーバードライブ量とコンタクト寿命を教えてください。
A
DCプローブの場合RFプローブと違って、オーバードライブによる測定結果への影響が小さいため、特に仕様は定義されておりません。
ただし、50ミクロン以上スケートさせてもパッドのダメージを増やすだけと思われますので、それ以下でのご利用をお薦めします。コンタクト寿命は、測定環境により大幅に変わってまいりますので、こちらも定義しておりません。
Q DCQプローブの最大電流と最大電圧を教えてください。
A
最大電流 １A、最大電圧 100V となっております。
Q DCQプローブの使用温度範囲を教えてください。
A
25 ～150 ℃となっております。
Q ACPプローブのピッチがプローブの箱にかかれている表のリストにない。
キャリブレーションのためのCopen等はどのようにしたら良いのか？
A
表の中の近いピッチの中間の値を使用してください。
Q ISSに付いているAlignment Markはどのように使うのか？
A
Alignment Markの幅と間隔はLoadやShortのパッドと同じになっています。このマークでプローブのコンタクト開始位置とスケートを調整することで、LoadやShortのパッドに接触することなく正確な位置合わせが可能です。ACPプローブのコンタクト開始の位置は、マークの垂直な辺と切れ込みの中間、スケートする最終位置は切れ込みと内側の辺の中間です。このように調整することでプローブ先端がパッドの上に降りてスケートしパッドからはみ出さない位置で止まります。例えばタングステンのプローブでパッドの外側に降りてからスケートし、パッドを剥がしてしまうような事故もふせぎます。詳細については「RF測定ガイド」をご参照ください。
Q Dual ISS(126-102, 129-239, 129-240, 129-241)の下部にあるラインの長さは？
A
短い方から450um（約3ps）、900um（約7ps）、1800um（約14ps）、3500um（約27ps）、5250um（40ps）となります。
これらは101-190、104-783、114-456でも同じです。物理長と電気長の関係は125umがおよそ1psとなります。
実際にはラインとプローブのオーバーラップが75um程度ありますので、（物理長－75um）÷125で電気長が求められます。
（ピッチ＜250ｕmの場合）
Q インピーダンス基準基板と、アブソーバの寸法を教えてください。
A
インピーダンス基準基板の寸法は、厚み 635±25um、縦 約16mm ｘ横 約22mmとなっております。
アブソーバは18mmｘ25mmｘ2.5mm（厚み）です。
どちらの製品も、カスケード社製のプローブステーションで使用されることを前提に製作されておりますので、正確な寸法公差は提示できない旨、ご了承下さい。
Q Copen、Lshort、Ltermはプローブの箱の裏蓋に記載されているがThruのDelayはどこを見れば分かるのか？
A
ＩSS Mapの裏側に記載されています。
標準ピッチのISS＝101-190、103-726では「1ps」、ワイド・ピッチのISS＝106-682、106-683では「4ps」となります。
RC（114-456）は「2ps」、Ｉｎｆｉｎｉｔｙ WaveGuide（導波管）（138-356、138-357）は「0.5ps」となります。
「RF測定ガイド」 11ﾍﾟｰｼﾞ参照
Q Right Angle ISS＝109-531のThru Dealyはいくつか？
A
「10ps」となっています。
109-531
Q General Purpose ISS（005-016）の右上にあるTHRUのDelayはいくつか？
A
左上から下記のようになっています。（単位ps)
19.3 8
19.3 2.7 4.7
17 10.8
24.2 5(直交)
24.2 15(直交)
41.1
005-016
Q Right Angle ISS（109-531）のTHRUの長さは何psですか？
A
Right AngleのTHRU（キャリブレーション用）の長さは10psとなっています。
また、Verification用のものは17.5psと25psです。
Download File
Q Agilent社のPNAを使用しているがLtermはどのように入力したら良いのか？
A
PNAでは直接Ltermを入力できません。入力する方法はDelay Characteristicsの部分で「Z0を500Ωに設定」し、「Delayの部分に"Lterm÷500"で得られた値」を入力します。50Ω伝送路とLoadの間にインピーダンスの高い（500Ω）の伝送路があると考えることでLtermの値をシュミレートすることができます。この方法はLshortの値を入力することができないVNA（Agilent社8720等）の場合も同様に使うことができます。詳細については「RF測定ガイド」をご参照ください。
Q ACPでキャリブレーションを行った後、OPENを測定したがスミスチャート上で点にならない。
キャリブレーションがおかしいのだろうか？
A
キャリブレーションの問題ではありません。スミスチャート上で見えているのはCal Kitで定義したOpen容量です。理想的なStandard（Open、Short、Load、Thru）が存在すれば良いのですが、現実には理想的なものはありません。例えばOpenの場合、端面での電磁界分布が理想的にならないためOpen容量が発生してしまいます。また、ShortやLoadではSignalとGroundの間に導体があるためインダクタンスが生じます。Thruもプローブ同士の直結はできませんので、ある長さが生じてしまいます。これらの理想的なStandardからのズレを記述したものがCal Kitと言うことになります。キャリブレーション後にOpen、Short、Load、Thruを測定すると、Cal Kitで定義した特性が見えるのです。
Q Dual ISS(126-102, 129-239, 129-240, 129-241)を使用してキャリブレーションを行う場合、
Copen、Lshort、Ltermの値はプローブの箱に書いてある値を使うのか？
A
プローブの箱に書いてある値ではありません。ISSマップの２ページ目下部の表にある値を使います。また、OPENはプローブを上げた状態ではなく、ISSにあるOPENパッドを使うことにも注意してください。
ご参考 (126-102)
Q CalKitの入力方法を教えてください。
A
測定器ごとに詳細を説明している『CalKit入力方法』をご参照ください。
RF プローブ Cal キットの入力方法（Agilent PNA Firmware Rev. A.03.xx)
RF プローブ Cal キットの入力方法（Agilent8510）
RF プローブ Cal キットの入力方法（Agilent8720）
Q PLTSを使用しています。デュアル用のプローブとISSで４ポートのキャリブレーションを行う場合、
クロスのThruが取れないようですが、どのように対処すれば良いでしょうか？
A
PLTSでは、4つのThruで校正ができるようになっています。設定の中で、クロスもしくはボックスを選択するようになっていますので、ボックスを選択します。この設定ですと、ストレートとループバックの4つのThruで校正が完了します。また、差動測定の場合には、校正時のアブソーバの使用をお薦めしています。
Q GSGSG（100ミクロン・ピッチ）のプローブと、GSG（100ミクロン・ピッチ）のプローブを使って3ポートのキャリブレーションをすることができますか？
A
デュアル用インピーダンス基準基板を使用して校正することができます。
また、3ポート以上の測定の場合、アブソーバの利用をお薦めしています。
Q プローブのケース蓋の裏面に記載されている『プローブ･スタンダード』の中で、C-openやL-termの値がマイナスの場合がありますが、なぜです？
A
C-openがマイナスの値になるのは、キャリブレーションの際に空気中でOpenを取ることが理由です。
ISS基板の誘電率と、空気中の誘電率が異なるため、マイナスの値となっています。（デュアル用ISSのようにパッドにコンタクトしてOpenを取る場合は、C-openは常にプラスになっています。
Loadについては図のようにモデル化されており、この中のCの成分はマイナスのLとして考えられます。Lが小さいとCの影響を受け、L-termがマイナスの値となります。
Q ２ポート測定で、ピッチの異なるプローブを使用したい。同じインピーダンス基準基板にコンタクトできる範囲の違いならキャリブレーションできるのですか？
A
SOLT校正であれば、プローブの型式やピッチが違ったとしても、ポートごとのプローブ設定を行えばキャリブレーションが可能です。
Q インピーダンス基準基板上のパターンについて、材質と厚みを教えてください。
A
パターン材質は金です。パターン厚みは社外秘となっております。ご了承ください。
Q インピーダンス基準基板はどのように選べばよいでしょか？
A
使用するプローブの構成（GS、GSGなど）、ピッチによって選びます。
また、４０GHｚを超えるプローブや差動用プローブについては、アブソーバの利用をお薦めしています。
Q RFプローブで取り扱える最大の電流、電圧、電力はどの位ですか？
A
ACPの場合、最大DC電流は5A、最大DC電圧は250Vです。
RF電力は10GHzで15W、40GHzで6Wとなります。
しかしながら使用するケーブルやコネクタの仕様にも注意する必要があります。
Infinityプローブの場合は、最大DC電流は500mA、最大DC電圧は100Vです。
RF電力についてはこちらを参照してください。
Q プローブを固定するためのネジのおおきさは？
A
9/64 ｲﾝﾁです。
Q プローブ・ヘッドにケーブルをとりつけるためのトルクレンチを購入したいのですが仕様は?
A
アジレント・テクノロジー様 型式 8710-1765 (8lb/in)
Q どのようなピッチの高周波プローブがありますか。
A
Infinityプローブでは、8種類のピッチ(50/75/100/125/150/175/200/250um)をご用意しております。
ACP、FPCシリーズではさらに3000umまでご用意しておりますが、種類、構成により変わります。
詳しくは『作成可能ピッチ表』（こちらProbe Head Available Pitch）をご参照下さい。
Q プローブ、インピーダンス基準基板の価格を知りたいのですが。
A
プローブ・ヘッド価格表ご参照ください。 プローブ・ヘッド価格表
Q 以前、HPC40というプローブを購入しましたが、現在は販売していないのですか？
A
以前にHPCの型名で販売しておりました製品は、現在はACPのシリーズのオプションの一つとして販売しております。
ACPプローブの型名の末尾に-RCをつけますと、HPCと同様の仕様となります。
Q ACP40-D-GSSG-500で、差動TDR測定をしようと思います。どのくらい高い周波数まで対応できるでしょうか？
A
スペックは定義されておりませんので予測値になりますが、10GHｚ程度までと考えられます。
Q 高周波プローブには専用のポジショナが必要ですか。
A
高周波プローブをご利用いただく場合、専用のポジショナ（マニュピレータ）を推奨しております。
高周波プローブはDC用のニードル針と異なり破損しやすく、また高価な製品になります。
アクシデントでプローブを破損する危険の高いDC用のポジショナはお薦めできません。
また、精度の高い測定のためにもプローブの平行度を調整する機構は必須になります。
Q 高周波プローブでピッチと呼んでいるのは、どこからどこまでの距離でしょうか？
A
プローブのピッチは、それぞれの端子間の中心間距離を示しています。
例えばGSG構成で200umピッチの場合、Gの中心 -200um- Sの中心 -200um- Gの中心となります。
Q 部品が搭載された基板の上にコンタクトするので、干渉するのではないかと心配です。
高周波プローブの詳細な寸法を教えてください。
A
外形寸法はRFプローブ・セレクション・ガイドをご参照下さい。ガイドに記載がない部分については、別途お問い合わせ下さい。
Q 立上り時間が数nSのパルスを流すためには、どのようなプローブを使えばよいですか？
また、そのプローブを使用する際、電極のレイアウトに制限はありますか？
A
40GHｚ以上対応の、ACP/FPCシリーズおよびInfinityシリーズがご利用いただけます。
電極のレイアウト制限は主に以下の通りです。
・パッド配置をプローブの端子構成（GSGなど）とピッチに合わせること
・パッド配置を1列にすること
・コンタクトに必要なパッドｻｲｽﾞを確保すること（ACP:90um, Infinity:60um)
・プローブの平行度調整ができる環境で使用すること
詳細については立上り時間→バンド幅計算表をご参照ください。こちら(Excel形式/マクロを有効にしてください)→Rise time Bandwidth Calculation sheet
Q 現在GGB INDUSTRIES社の高周波プローブを使用しています。
カスケード社の高周波プローブは、GGB INDUSTRIES社の高周波プローブと互換性がありますか？
A
GGB INDUSTRIES社のプローブとカスケード社のプローブで、取り付け部の寸法には互換性があります。
ただし、外形寸法には違いがございますので、モジュールの測定をされるなど、外形寸法に制限がある場合には、事前に確認が必要です。
Q 導波管プローブ（ACPとInfinity）のバイアス端子にかけられる最大電圧、最大電流は？
A
最大電圧:50V、最大電流：500mA。ただし3Wを超えないこと。
Q セミオートプローバを使用していますが、OSを最新のものにできますか？
A
アップグレードパッケージがあります。ProberControllerUpgrade1107
| 関連資料 |
|---|
| プローブ・ステーション コントロールシステム アップグレードパッケージ |
